MKS Instruments,Inc.是仪器、系统、子系统和过程控制解决方案的全球供应商，这些解决方案测量、监控、交付、分析、供电和控制先进制造过程的关键参数，以提高客户的过程性能和生产力。他们的产品源自他们在压力测量和控制、流量测量和控制、气体和蒸汽输送、气体成分分析、电子控制技术、反应气体发生和输送、发电和输送、真空技术、激光、光子学、光学、精密运动控制、振动控制和基于激光的制造系统解决方案。下面将是我们为您介绍的美国MKS质量流量控制器C系列（MKS质量流量控制器产品介绍），文章概述了该产品的特性及规格，如果您想要了解，您可以继续往下阅读！

1、MKS质量流量控制器产品介绍
C系列质量流量控制器(MFC)是紧凑型快速响应型号，使用基于微机电系统(MEMS)的流量传感器，适用于非腐蚀性气体应用。它的满量程流量范围为15至14,000 sccm(N2)，控制范围从低至满量程的0.1%到高达满量程的100%。提供模拟（0至5 VDC）、RS485、PROFINET®和Modbus通信接口。该器件的全量程流量范围为14000 sccm至50000 sccm，N2的控制范围为低至全量程的0.1%至全量程的100%，也可用作流量计。

2、美国MKS质量流量控制器C系列特性
CMA50A紧凑型设计仅1英寸（25.4毫米），高度不到4.4英寸（111.8毫米）。4 VCR®公头的标准长度为4.88英寸（124毫米），0.25英寸压缩密封气体管线连接的标准长度为4.54英寸（113毫米）。还提供下载版本。低热质量MEMS传感器可快速感测流量变化并具有低噪声输出。传感器的固态设计使其能够抵抗水凝结、颗粒、压力冲击和振动。快速响应、宽动态控制范围和0.8%的设定点精度使该MFC成为使用非腐蚀性气体的关键过程应用中流量控制的绝佳选择。典型用途包括质谱、真空镀膜、生物反应器以及许多其他应用。CMA50A包含一个快速作用电磁控制阀，通过MFC卓越的流量信号处理和控制算法与流量传感器耦合。这使得设定点的响应时间小于100毫秒。

3、美国MKS质量流量控制器C系列特点
①小于100毫秒的超快响应时间
②控制范围为满量程的0.1至100%
③设定点的精度为±0.8%
④最小的零位和量程漂移确保长期再现性
⑤表面贴装接口可用于紧凑型气体面板设计
⑥用于设置和诊断的嵌入式网络浏览器

4、美国MKS质量流量控制器C系列规格
①满量程流量范围：14,001-50,000 sccm(N2)
②最大入口压力：80磅/平方英寸
③正常工作压差：14001至50000 sccm：30至45 psid(N2)
④耐压：232磅/平方英寸/16巴
⑤爆破压力：1000磅/平方英寸/70巴
⑥控制范围数字：I/O：满量程的0.1%至100%；模拟I/O：满量程的0.2%至100%
⑦重复性：读数的±0.2%
⑧零温度系数：≤满量程的0.005%/°C
⑨跨度温度系数：≤读数的0.06%/°C
⑩压力系数：小于读数的0.025%/psi

5、美国MKS质量流量控制器C系列其他信息参数
①工作温度：10-50°C(32-122°F)
②储存温度：0-60°C(32-140°F)
③配件类型兼容：Swagelok®4 VCR®外螺纹；表面安装（O形圈和W形密封件）；0.25英寸Swagelok压缩
④通过关闭的阀门泄漏完整性：小于最大值的0.1%使用阀门关闭超控命令的满量程（为了确保无流量，需要一个单独的强制截止阀）
⑤接液材料：铝、不锈钢、硅、氧化硅、碳化硅、Viton®、球形顶部
⑥密封材料：氟橡胶
⑦阀门位置：常闭
⑧设定点命令信号：0-5 VDC（0-10 VDC，可选）
⑨电源要求：24 VDC(±10%)，<4瓦
⑩流量输入输出信号：0-5 VDC（0-10 VDC，可选）
⑪模拟I/O连接器：9针D型
⑫重量：0.68磅（310克）（录像机）
⑬储存温度：-20°至65°C（-4°至149°F）

6、美国MKS质量流量控制器C系列RS485通信选项
①所需输入功率：24 VDC(±10%)，小于4瓦
②连接器：9针D型公头（电源和通讯）
③数据速率开关/选择：无开关
④通过RS485设置数据速率MFC：无开关
⑤MFM：不适用
⑥通讯。费率9.6 Kbps，19.2 Kbps，38.4 Kbps
⑦MFM：不适用不适用
⑧MAC ID开关/地址：通过RS485设置地址站地址0,0至9,9
⑨网络规模：最多32个节点
⑩视觉指示器：LED电源LED运行（绿色）

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