本篇文章将为您详细介绍美国MKS质量流量计IE500A系列产品规格，描述质量流量计的特性及规格参数，如果您想了解该产品信息，相信一定会对您有所帮助，如您有该产品需要咨询，随时欢迎您来电，我们将会为您提供充分服务。

1、美国MKS质量流量计IE500A系列介绍
MKS高流量热质量流量计在需要防水防尘的恶劣环境中流量高达1000 slm。IE500A系列高性能多气体、多量程热式质量流量计专为要求准确性、可重复性的最关键过程应用而设计。IE500A质量流量计是弹性体密封的多气体/多量程MFM，设计用于需要防水和防尘的恶劣环境。应用包括那些可能需要“冲洗”的应用，例如存在水分和颗粒的工业玻璃生产。凭借IP66级外壳，IE500A MFM可满足这些恶劣环境的严格要求。IE500A质量流量计的量程范围为250 slm至500 slm（氮气当量）。多气体/多范围功能以及严格的精度性能规格，使用户能够最大限度地减少高流量MFM零件号的库存。

2、美国MKS质量流量计IE500A系列产品特性
多气体/多范围特征(以及其他自定义控件)是通过MFMs访问的嵌入式诊断接口，不需要特殊的软件或硬件来操作。标准以太网电缆和支持JAVA的HTML浏览器，所有需要的工具都随处可得。关键的典型高流速气体的气体参数为已经存储在设备上。配置设备是只需选择气体菜单并指定所需的满量程流量范围。诊断界面还允许用户执行常规设备健康检查、标绘图流响应和存储运行数据以供离线分析。

3、美国MKS质量流量计IE500A系列特点
①IP66级外壳可在恶劣环境中提供防水和防尘保护
②严格控制工艺气体的流量精度改善工艺匹配
③多气体/多范围功能减少了MFM库存
④严格控制工艺气体的流量精度，以改善腔室工艺匹配
⑤嵌入式配置和诊断软件允许用户检查MFM功能，而无需从工具中移除设备
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4、美国MKS质量流量计P系列产品规格
①类型：质量流量计(MFM)
②满量程流量范围：250-500平方米
③测量范围：0.2-100%满量程（机械范围）
④最大入口压力：150磅/平方英寸
⑤爆破压力：1500磅/平方英寸
⑥典型精度：±1%读数（使用N2校准气体）
⑦重复性：读数的±0.5%
⑧零温度系数：小于满量程的0.05%/°C
⑨跨度温度系数：小于读数的0.08%/°C
⑩入口压力系数：小于读数的0.03%/psi
⑪工作温度：10-50℃
⑫模拟I/O连接器：15针D型公头
⑬流量输入输出信号：电压(0-5 VDC)；电流(4-20 mA)
⑭电源要求15-24 VDC（小于4瓦）

5、美国MKS质量流量计IE500A系列通讯选项
①数字输入/输出：现场总线®
②所需输入功率：+15至+24 VDC（小于2瓦）
③连接器：9针D型公头（电源），9针D型母头（通讯）
④数据速率开关/选择：无开关
⑤通过Profibus：设置数据速率，无开关
⑥通讯。费率：9.6 Kbps至12 Mbps
⑦MAC ID开关/地址：2个开关，10个位置
⑧网络规模：最多99个节点
⑨视觉指示器：LED通信（绿色/红色），LED错误（绿色/红色）
⑩遵守：CE

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