MKS前瞻性的创新开发,推动其产品一直处于全球技术领先地位。MKS的电源、测量、控制和复杂气体相关的工艺监控技术,改善了设备完好率和产品成品率,提高了产量和产品性能。MKS产品起源于MKS的压力和流量测量与控制核心技术,延伸到材料递送、气体成份分析、工艺控制、信息管理、电源和反应气体发生器及真空技术。下文是我们与大家分享的有关MKS真空计,美国MKS真空计产品特征介绍的产品信息,如果您想要购买欧美工业产品备件,却苦于没有渠道,那请您来找我们,我们会为您提供最优质的服务。
一、美国MKS真空计产品概述
全球真空用户转向MKS、Granville-Phillips®产品来获得可靠、精确、可靠的真空测量技术,用于测量10-11至1500 Torr的压力。他们的真空计、传感器、传感器和控制器基于多种压力测量技术,包括Convectron®、Micro-Ion®、MicroPirani™、压电热阴极和冷阴极、Stabil-Ion®和基于MEMS的多传感器技术。937B系列组合真空计系统是真空计系列的一部分,可同时操作多达六个传感器。通过选择传感器类型,每个控制器都可以根据用户的具体要求进行配置。压力单位可由用户配置,单位为托、毫巴、帕斯卡或微米。RS232和RS485是937B的标准配置,也可以选择Profibus。UHV测量系统可用于需要以下任何一项的应用:高温烘烤、抗辐射;或10-11 Torr测量。真空测量传感器可安装在直线加速器、助推环、存储环、光束线和真空泵系统上。
二、MKS真空计,美国MKS真空计产品特征介绍
①电离真空计可在10-11 Torr范围内进行精确真空测量
②Convectron Gauge选项将压力测量扩展到大气
③Stabil-Ion Gauge具有带有校准数据的存储模块
④超洁净仪表结构可在抽气期间快速响应
⑤双灯丝可延长设备的正常运行时间
三、美国MKS真空计特性
Granville-Phillips®370 Stabil-Ion®Bayard-Alpert真空计是最精确的Bayard-Alpert型热阴极电离真空压力计,采用全金属测量管,可消除玻璃破裂、玻璃分解或氦气渗透。完整的静电屏蔽和接地金属仪表管外壳提供稳定的电气环境并屏蔽外部电气影响。Stabil-Ion®真空计的稳定性、准确性和可靠性是多年测试和设计的结果。Stabil-Ion真空计是唯一一款能够长期保持校准的高真空过程控制真空计。由于老式电离计的设计和技术,栅极和灯丝之间的物理关系总是在变化。因此,压力读数通常不准确30%到40%,有时甚至更多。获得专利的精确设计和先进的制造技术可确保StabilIon压力表的组件不会移动,因此您可以在压力表的使用寿命内获得准确的压力测量结果。
四、美国MKS真空计功能
①精密缠绕、消除应力的阳极:即使在高温脱气后也能保持其原始形状,从而减少测量误差。任何内部组件没有移动意味着实际压力指示没有变化
②坚固的不锈钢结构:防止安装过程中损坏网格和灯丝,并消除玻璃破碎的风险
③张紧双丝:保持精确定位以保持稳定性和校准
④真空烧制部件:组装过程中切勿徒手触摸。所有制造、组装和测试均在洁净室环境中进行,从而防止污染并加速真空系统抽气
⑤校准内存:Stabil-Ion真空计是第一个具有足够长期稳定性的电离真空计,足以证明在内存中存储校准数据是合理的。每个StabilIon压力表都配有一个内存模块,其中包含基于15个单独校准压力值的校准数据
⑥测量范围的选择:Stabil-Ion真空计可用于高真空或超高真空范围
五、美国MKS真空计简介
Granville-Phillips®370 Stabil-Ion®真空计控制器是一款机架式控制器,可为全金属370 Stabil-Ion®真空计提供无与伦比的电离真空计性能,以一小部分的速度提供旋转转子真空计的长期性能使用芯片上的校准的成本。Stabil-Ion真空计的独特设计和精心制造确保了长期、准确的测量。以下是旧版BA仪表设计中存在的更重要的问题,他们已将其删除,以便随着时间的推移和仪表之间的测量实现准确度。电子和离子轨迹的复杂计算机模拟极大地有助于识别不稳定行为的原因。
六、美国MKS真空计技术参数
①测量范围:2.0 x 10-10至999托
②准确性:1 x 10-8-1 x 10-4 Torr,读数的±4%(对于N2)
③重复性:1 x 10-8 Torr至1 x 10-4,Torr±3%读数
④模拟输出:1伏/十倍频,对数,0-10 Vdc
⑤配件类型:CF法兰
⑥法兰尺寸:2.75英寸
⑦电子轰击脱气:40瓦,1-30分钟(可调)
⑧发射电流:0.1毫安和4.0毫安
⑨工作温度:0-40°C
⑩储存温度:-40-70°C
⑪电源要求:90-130伏交流电、180-250伏交流电、50-60赫兹、最大220瓦
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