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1、美国MKS流量控制阀248D介绍
上游流量控制阀是比例控制阀，设计用于精确控制过程中上游的气流。148J全金属控制阀最大限度地减少了颗粒的产生并减少了残留污染物的逸气，否则可能导致设备故障和产量下降。使用保证外部泄漏率小于1 x 10-10 atm cc/sec(He)的金属密封件以避免污染和腐蚀。148高温阀可在150°C的过程温度下运行。248D控制阀是一种改进型电磁阀，在提供控制电流时将调节气体流量。当与MKS控制器和适当的流量传感器一起使用时，248D阀门可调节气体流量，同时保持准确和精确的压力或流量。
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2、美国MKS流量控制阀248D特性
随着施加到螺线管的电流不断增加，连接到电枢的阀座被提升远离可调节节流孔。两个螺旋弹簧使电枢在阀体内居中并抵抗磁升力。这些弹簧最大限度地减少了摩擦和迟滞，这是导致控制性能不佳的主要原因。通过1249控制阀驱动器提供操作电磁阀所需的驱动信号，248D阀可用于压力或流量控制。248D阀门的节流孔无需特殊工具即可轻松调节或更换。可能需要进行调整以消除因正常操作磨损而导致的阀门泄漏。当磨损过度或改变阀门的流量范围时需要更换。

3、美国MKS流量控制阀248D特征
①无需特殊工具即可轻松调整或更换
②调节气体流量，同时保持精确的压力或流量
③316 SS、镍、埃尔吉洛伊合金、KM45、特氟龙
④10至30,000 sccm满量程流量范围
⑤4 VCR®外螺纹接头
⑥可烘烤至150°C

4、美国MKS流量控制阀248D规格
①类型：248D流量控制阀
②满量程流量范围：10-50,000标准立方厘米
③最小可控流量：0.2%满量程(小于100 sccm)；0.1%满量程(100至10,000 sccm)；小于2%满量程(大于10,000 sccm)
④闭合电导泄漏：小于1×10-5 scc/sec He（最高10,000 sccm）；小于1%满量程(大于10,000 sccm)（15 psid至atm）
⑤暴露的材料：标准：316 SS、镍、Viton®；可选：Buna-N、Kalrez®、Neoprene®
⑥密封材料：Viton、氯丁橡胶、Buna-N或Kalrez
⑦配件类型标准：0.25英寸Swagelok®；可选：4 VCR或4 VCO®外螺纹
⑧工作温度：-10至60°

5、美国MKS流量控制阀248D产品说明
MKS提供上游气流控制阀，可与适当的MKS控制器和压力传感阀连接，通过调节进入腔室的气流来控制腔室压力。提供传统的阀门/控制器和完全集成的阀门/控制器配置。传统的上游阀门和阀门控制器组合包括基线248D流量控制阀、148J全金属控制阀和154B高流量阀，可使用MKS 651和1651压力控制器进行控制。这些阀门可以使用1249电磁控制阀驱动器进行控制。控制阀驱动器旨在与PC、PLC或其他控制器一起使用，这些控制器提供必要的PID控制功能，但不具备驱动流量控制阀所需的电流输出。

6、美国MKS流量控制阀248D其他型号介绍
MKS提供用于闭环电子压力控制的集成上游压力阀和控制器。这些是独立的紧凑型闭环电子控制系统，用于上游或下游压力控制。MKS的640B和641B绝对压力和表压控制器包含Baratron电容压力计、常闭比例控制阀和闭环控制电子设备。这些控制器中的压力输出和输入控制信号为线性0-5 VOC或0-10 VDC。640/641中包含两个跳闸点，并带有LED状态指示灯，可用作简单的开/关过程限制。640和641压力控制器可与单通道或四通道电源/读数器连接。除了单区集成压力控制器外，MKS还提供DPC双区压力控制器，该控制器集成了入口气动截止阀、两个带质量流量计量的独立压力控制通道和一个真空出口。这样做的目的是降低用于背面晶圆冷却的压力控制子系统的总体拥有成本，特别是对于最新的两区静电吸盘。

MKS还提供πPC系列PC90集成闭环压力控制器和PC99集成闭环压力控制器（包括质量流量计）。πPC压力控制器以支持网络的格式提供数字控制。它是一种独立、紧凑、闭环电子压力控制系统，专为各种压力和流量条件而设计。它包含Baratron电容压力计、常闭或常开控制阀以及闭环控制电子设备。πPC可采用上游或下游压力控制配置，使其非常适合控制工艺室背压或工艺气体输送压力。凭借数字（DeviceNet或RS-485）或模拟I/O及其以太网设置/诊断功能，πPC可以轻松集成到大多数处理工具中。πPC压力控制器是一个完整、紧凑的压力控制套件，可最大限度地降低成本和空间要求。MKS提供多种不同型号的真空/压力开关，用于准确可靠地保护真空设备、大气切换和真空/压力过程。这些开关专为不需要直流信号输出的应用而设计，提供继电器输出，可轻松与警报器、阀门执行器、计算机、过程控制器、负载锁和其他保护设备连接。

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