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MKS流量计
名称:  MKS流量计
型号:  P
品牌:  MKS
产地:  美国
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发布时间:  2024-04-01
浏览次数:  475
产品详情

美国MKS成立于1961,MKS是全球最著名的先进生产工艺控制设备供应商之一,其产品广泛地应用于各种半导体器件、平板显示器、太阳能电池、LED、光学储存介质、玻璃镀膜、光电产品等生产设备及制药和医学成像设备。MKS前瞻性的创新开发,推动其产品一直处于全球技术领先地位。MKS的电源、测量、控制和复杂气体相关的工艺监控技术,改善了设备完好率和产品成品率,提高了产量和产品性能。深圳市华联欧国际贸易有限公司现货供应MKS,MKS流量计,美国MKS流量计等全系列产品,低价采购,保质保量,价格优惠!MKS产品一站式采购,型号齐全,一件起订,欢迎选购!

1、美国MKS流量计P系列产品介绍
美国MKS流量计P系列高性能多气体、多量程热式质量流量计专为要求准确性、可重复性的最关键过程应用而设计。P4B是一款1.125英寸机身、多气体/多范围、金属密封质量流量计(MFM)。P4B流量计采用了最新的数字流量计电子设备以及久经考验的专利热传感器和机械设计。数字电子器件采用最新的MKS算法,提供多气体/多范围测量功能。其中包括数字校准,可产生1%的校准气体读数精度。严格控制工艺气体的流量精度,以改善腔室工艺匹配,嵌入式配置和诊断软件允许用户检查MFM功能,而无需从工具中移除设备。

2、美国MKS流量计P系列产品规格
①满量程流量范围5-50000标准立方厘米
②测量范围满量程的0.1-100%(机械范围)
③最大入口压力500磅/平方英寸
④2-20%满量程时为满量程的±0.2%
⑤零温度系数<满量程的0.05%
⑥跨度温度系数<读数的0.08%
⑦入口压力系数<读数的0.02%
⑧热身时间<30分钟(稳态性能满量程的0.2%以内)
⑨美国MKS流量计P系列工作温度10-50℃
⑩储存湿度0-95%相对湿度,无冷凝
⑪储存温度-20°至80°C(-4°至149°F)
⑫美国MKS流量计P系列重量<2.5磅(1.1千克)
美国MKS流量计P系列
3、美国MKS流量计P系列产品特征
①所需输入功率:根据DeviceNet规范+11至+25 VDC
②小字符喷码机:5针微小字符喷码机(DeviceNet)
③数据速率开关/选择:4个位置:125、250、500K(默认)、PGM(可通过网络编程)
④数据速率/网络长度:数据速率(用户可选)125 Kbps,500米(1,640英尺)
⑤MAC ID开关/地址:2个开关,10个位置;0,0到6,3是硬件ID号7,0到9,9是软件ID号
⑥美国MKS流量计P系列网络规模:最多64个节点
⑦网络拓扑结构:同一网络电缆上的线性(干线/支线)电源和信号

4、美国MKS流量计P系列产品特性
①严格控制的工艺气体流量精度可改善处理室工艺匹配
②宽动态范围内的精确流量测量(即使在量程较低时)减少了对额外低量程MFM的需求
③嵌入式配置和诊断软件,允许用户无需从工具中移除设备即可检查MFM功能
④美国MKS流量计P系列使用标准网络浏览器;不需要特殊软件

5、美国MKS流量计P系列产品优势
美国MKS流量计P系列通过其多气体/多范围功能减少MFM库存,多气体/多范围功能以及严格的精度性能规格,使用户能够最大限度地减少高流量MFM零件号的库存。多气体/多范围功能(以及其他自定义控制)可通过MFM嵌入式诊断接口访问,无需特殊软件或硬件即可操作。标准以太网电缆和广泛使用的支持JAVA的HTML浏览器就是所需的全部工具。典型高流速气体的关键气体参数已存储在设备上。配置设备只需从下拉菜单中选择气体并指定所需的满量程流量范围即可。诊断界面还允许用户执行常规设备运行状况检查、绘制流程并存储操作数据以进行离线分析。通过其明亮的自动定向LED显示屏,轻松查看流速、气体类型和满量程流量。

6、美国MKS流量计P系列产品配置选项
①美国MKS流量计P系列P4B质量流量计P4B
②气体(按照半标准E52-0703)
③美国MKS流量计P系列氮气(N 2)SEK 13.00
④美国MKS流量计P系列氨(NH 3)SEK 29.00
⑤六氟化硫(SF 6)SEK 110.00
⑥美国MKS流量计P系列流量范围满量程
⑦5标准立方厘米SEK 500.00
⑧10标准立方厘米SEK 101.00
⑨20标准立方厘米SEK 201.00
⑩50标准立方厘米SEK 501.00
⑪100标准立方厘米SEK 102.00

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