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MKS电容压力计
名称:  MKS电容压力计
型号:  DA02B系列
品牌:  MKS
产地:  美国
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发布时间:  2023-10-30
浏览次数:  579
产品详情

本文收集整理了一些有关于美国MKS电容压力计DA02B系列的产品信息,详细介绍了美国MKS电容压力计的产品特点,华联欧优惠销售MKS电容压力计,如果您有所需求,欢迎随时您来电!

1、美国MKS电容压力计DA02B系列介绍
MKS Baratron®电容压力计具有高精度和可重复性,对气体成分不敏感,结构紧凑,并且易于与大多数过程工具连接。他们几乎完全使用镍基合金制造隔膜压力表,例如Inconel®、Incoloy®等。当材料与工艺相匹配时,这使得它们具有高度的耐腐蚀性。他们的传感器在组装前经过完全焊接和100%泄漏检查。如果隔膜发生极其罕见的故障,过程气体将完全包含在传感器内,防止逸出到外部环境。没有其他压力或真空计能够提供这种安全级别。他们的高性能Baratron®电容压力计能够以高精度和高重复性测量独立于气体的绝对压力。精度被指定为准确输出信号的读数的百分比,即使在刻度的低端也是如此。

2、美国MKS电容压力计DA02B系列概述
DA02B EtherCAT®Baratron®电容压力计继续将高性能发展到网络系统中,使用行业标准EtherCAT数字通信连接到复杂的过程工具。EtherCAT Baratron压力计基于经过验证的配备以太网的627C和628C Baratron产品,符合当前的SEMI®EtherCAT通用设备配置文件,专为在先进处理系统中使用而设计。

3、美国MKS电容压力计DA02B系列特点
①未加热或控制至45°C、80°C或100°C
②EtherCAT®通信和与压力成比例的0-10 VDC输出
③满量程测量范围为0.1至1000 Torr(13.3 Pa至133.3 kPa)
④提供标准或蚀刻传感器
⑤全焊接Inconel和Incoloy®传感器具有极高的耐腐蚀性
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4、美国MKS电容压力计DA02B系列规格
①传感器温度:控制至45°C、80°C或100°C
②满量程压力范围:0.1、0.25、1、2、10、20、50、100、200、500和1000托(和公制当量)
③解决:0.001%满量程
④通讯协议:EtherCAT®
⑤模拟输出:0-10 VDC输入小于10Ω负载
⑥模拟连接器:15针D型超小型公头
⑦数字连接器:两(2)个RJ45母插座,用于输入信号和网络信号
⑧跨度温度系数:0.02%读数/°C
⑨超压限制:45磅/平方英寸(310千帕)

5、美国MKS电容压力计DA02B系列特征
(1)Baratron®电容压力计技术
电容压力计是机电压力计,可以测量压力和真空。电容计将薄隔膜中的压力调制运动转换成与压力成比例的电信号。压力传感器是一个薄隔膜,暴露在通过入口管测量的压力或真空中。电极安装在隔膜后面的参考腔中。过程和参考腔之间的压力差coodyak使隔膜轻微偏转,改变隔膜和电极之间的距离。该距离的变化会导致隔膜和电极之间的电容变化,从而产生与压力变化成比例的电信号。由于电容信号的差异是由压力计内的物理变化产生的,而不是由气体特性的变化产生的,因此电容压力计的压力测量与被测气体的成分无关。

(2)读数准确率百分比
精度指定为读数的百分比,而不是满量程,如某些性能较低的设备中所见。读数精度百分比在最需要的压力范围较低范围内为您提供更准确的输出信号。

(3)内部加热至45°C、80°C或100°C
这些电容压力计的温度控制为45°C、80°C或100°C,以提高精度。未加热版本会暴露在环境温度变化的环境中,这会降低传感器的精度。这些设备将传感器封装在一个保持在高于环境温度的恒定温度的体积中。该解决方案通过减少或消除压力计内的过程污染,提高了压力计的准确性和可重复性,并降低了仪器漂移。建议将加热压力计用于需要最大精度和可重复性、在环境温度以上运行的应用以及使用热气体的过程。

(4)绝对压力测量
这些Baratron®压力传感器以真空为参考进行绝对压力测量。应用包括:真空炉、水果和蔬菜冷冻干燥、气体激光器、汽车部件测试、瓶子涂层和真空蒸馏。

(5)Inconel®和Incoloy®结构润湿表面
这些压力传感器采用Inconel®和Incoloy®镍合金结构的压力传感器,使其能够在几乎任何化学环境(包括卤素、去离子水和蒸汽以及臭氧)中无损坏地运行。传感器完全焊接,没有中间钎焊或连接材料。

(6)0至10 VDC比例模拟输出
这些Baratron®电容压力计具有与压力呈线性关系的高电平0-10 VDC模拟输出信号。该模拟输出可与MKS压力控制器、MKS电源/显示仪器或满足这些要求的任何仪器连接。

(7)EtherCAT®通信
这些支持e-Baratron EtherCAT®的电容压力计继续将高性能发展到网络系统中,使用行业标准EtherCAT数字通信连接到复杂的过程工具。EtherCAT e-Baratron压力计基于经过验证的配备以太网的627C和628C e-Baratron产品,符合当前的SEMI®EtherCAT通用设备规范,设计用于先进处理系统。

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