MKS成立于1961。MKS的电源、测量、控制和复杂气体相关的工艺监控技术，改善了设备完好率和产品成品率，提高了产量和产品性能。MKS产品起源于MKS的压力和流量测量与控制核心技术，延伸到材料递送、气体成份分析、工艺控制、信息管理、电源和反应气体发生器及真空技术。下面是我们为广大客户带来的美国MKS射频发生器规格（MKS射频发生器产品概述）产品介绍内容，我们将为大家介绍美国MKS射频发生器的不同特点，希望能为您了解射频发生器产品带来一些帮助。
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一、MKS射频发生器产品概述
MKS射频功率发生器为薄膜加工设备提供可靠的固态电源。它们是半导体制造系统的重要组成部分，用于生产现代计算机和电子设备所需的集成电路(IC)或芯片。MKS射频发生器与他们的阻抗匹配网络和V/I探头相结合，形成了一个完整的射频传输系统。Elite™系列射频等离子体发生器在紧凑的风冷封装中提供了最先进的技术。Elite采用高速闭环控制、E级射频甲板和开关调制器设计，可实现卓越的输出性能。精英设计采用单个印刷电路板组件来实现全机架产品，几乎消除了所有内部电线和连接器，从而提供了最高的可靠性。

二、美国MKS射频发生器特点
①风冷可降低设施成本-不需要连接到工厂冷却回路
②高效率设计，DC至RF效率大于85%，功耗低
③紧凑的半机架外壳可直接安装工具
④集成单板设计消除了电缆和连接器
⑤动态频率调谐减少等离子体稳定时间
⑥开-关、电平到电平和脉冲整形，以实现最大的工艺灵活性
⑦脉冲能量控制可实现过程重复性
⑧多频应用中脉冲控制的脉冲同步
⑨高达50 KHz的脉冲频率，可满足高级工艺要求

三、美国MKS射频发生器规格
①频率：13.56兆赫
②准确性：±0.005%
③负载阻抗范围：200-750 W，取决于型号
④谐波输出和失真：-20至-30 dBc
⑤谐波输出：-30分贝
⑥输入交流电源：单相，110VAC-253VAC，50Hz/60Hz
⑦射频连接器：N型
⑧远程数字接口：RS-232通过DB9F
⑨模拟接口：25针DB25F
⑩冷却：风冷
⑪工作温度：5-40°C
⑫设定点响应时间：小于10ms（模拟）
⑬开关;电源开关：前面板开关
⑭交流输入连接器：符合IEC标准的入口

四、美国MKS射频发生器优势
（1）低拥有成本
①风冷可降低设施成本
②高效率设计，DC至RF效率大于85%，功耗低
③宽输入范围允许在全球范围内安装，无需特殊变压器

（2）易于安装
①空气冷却不需要连接到工厂冷却回路
②紧凑的半机架外壳可直接安装工具
③标准IEC输入连接器无需特殊线束
④单相宽交流输入范围可轻松安装在具有不同交流线路电压的全球市场中
⑤带保险丝，适用于单相或两相系统

（3）卓越的可靠性
①集成单板设计消除了电缆和连接器
②获得专利的感应钳技术可保护发生器免受最不利的VSWR负载条件和等离子体波动的影响

（4）增加价值
①基于现场可编程门阵列(FPGA)的控制可实现快速控制环路和发电机负载瞬变保护
②通用励磁机(CEX)允许主从操作并与其他发电机同步
③可选的LCD显示屏和6按钮多功能键盘允许从前面板进行本地操作

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