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ATOVAC真空计（增强对流计）EG301
浏览次数：310 发布于：2023-05-10
通常安装在真空室内，它是一个读取真空室内实际压力的仪表，需要+24 VDC（可能为15 VDC）电源。EG301增强型对流压力计具有3~10 VDC信号输出，用于半导体工艺和真空设备。性能特点可以进行大范围的压力测量（0 X 10-4至760Torr）。
高精度和增加的占地面积效率。
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通常安装在真空室内，它是一个读取真空室内实际压力的仪表，需要+24 VDC（可能为15 VDC）电源。EG301增强型对流压力计具有3~10 VDC信号输出，用于半导体工艺和真空设备。
性能特点
- 可以进行大范围的压力测量（0 X 10-4至760Torr）。
- 高精度和增加的占地面积效率。
- 提供模拟输出，以便直接连接到PLC和其他设备进行显示。
- 由于采用了7段LED，因此可以远距离读取。
- PC可以使用RS-485进行控制。
- 提供两个设置点用于外部设备和过程。
- 它可以以低成本维修（更换传感器导线）。
- 可单独使用，无需控制器。
技术参数
输入功率：+24伏直流电（可能15伏直流电)
输出功率：+3 VDC至10 VDC
工作温度：0~50℃
压力范围：2.0 X 10-4~760Torr
显示窗口：7段LED
显示单元：托尔（Torr）
安装位置：水平
细丝：铂99.999%
法兰：NW16 ISO-KF、NW25 ISO-KF，1/4 VCR内螺纹，CF法兰
界面：模拟输出，RS-485，2个设定点
详细参数
产品应用
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